製品情報

ATM-1100K　

特 長

  • ウェーハ面内の貼付圧力・温度の均一化を実現。
  • フィルム貼付ローラーの温度の均一化を実現。
  • フィルム貼付テンションコントロールの容易化を実現。（ノーテンション貼り・テンティング貼り対応可）
  • バックグラインド用保護テープ貼りにも対応。
  • ECO対応。（消耗品の長寿命化、フィルム消費量の低減等を実現）
  • 作業性改善。（タッチパネルによる簡単操作）

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