製品情報

ATM-12000DR　

特 長

  • 12インチ（300mm）径のウェーハに対応した全自動マウンターです。
  • ウェーハマウントをした後、保護テープ剥離を行います。
  • テープ交換・リング供給作業は装置背面に集中設置。
  • FOUPキャリア対応可能。（オプション)
  • B/G装置、エッチング・ポリッシング装置とのインラインドッキング対応。(オプション)
  • コインスタックからの取り出し。(オプション)

オンラインカタログ

PAGETOP