ATM-3100
特 長
- 12インチ（300mm）径のウェーハに対応した保護テープ貼付装置です。
- ウェーハカセット部とメンテナンス部に仕切りを設け、メンテナンス部をクリーンルーム外に設置する事により、高クリーン度の必要な室内スペースを小さくすることができます。
- 重量化対策を考慮し、テープ交換作業は装置背面からできる設計としました。
- 対話方式による簡単操作。
- FOUPカセット対応、AGV・OHT通信機能対応（オプション）。
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