ATM-3000EF
特 長
- ウェーハカセット部とメンテナンス部に仕切りを設け、メンテナンス部をクリーンルーム外に設置する事により、高クリーン度の必要な室内スペースを小さくすることができます。
- 重量化対策を考慮し、テープ交換作業は装置背面からできる設計としました。
- テープテンション自動調整機能付きです。
- 対話方式による簡単操作。
- FOUPカセット対応(オプション)。
- AGV・OHT通信機能対応可(オプション)。
- 8・12インチ対応機。
- ヒーターローラー、ヒーターテーブル標準装備。
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