製品情報

ATM-3000EF　

特 長

  • ウェーハカセット部とメンテナンス部に仕切りを設け、メンテナンス部をクリーンルーム外に設置する事により、高クリーン度の必要な室内スペースを小さくすることができます。
  • 重量化対策を考慮し、テープ交換作業は装置背面からできる設計としました。
  • テープテンション自動調整機能付きです。
  • 対話方式による簡単操作。
  • FOUPカセット対応（オプション）。
  • AGV・OHT通信機能対応可（オプション）。
  • 8・12インチ対応機。
  • ヒーターローラー、ヒーターテーブル標準装備。

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