製品情報

ATM-8100S　

特 長

  • 厚さ150μ、反り5mmまでのウェーハに対応した全自動マウンターです。
  • 薄厚反りウェーハに対応として、真空チャンバー内でウェーハの反りを矯正保持します。
  • 各種テープに対応したテープテンションメモリー機能。
  • 真空中のマウントにより、気泡の発生がなく、ウェーハにダメージを与えません。

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