製品情報

ATM-8100X　

特 長

  • ウェーハマウントをした後、保護テープ剥離を行います。
  • プリカットテープ・ロールテープ対応。
  • オープンキャリア・プロトスからのウェーハ供給可能。（プロトス対応はオプション）
  • 真空中のマウントにより、気泡の発生がなく、ウェーハにダメージを与えません。

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