製品情報

ATRM-2300　

特 長

  • 150μm薄厚ウェーハ、反りウェーハ　にも対応可能。
  • 省テープ剥離システムにより、従来機比約80%の剥離テープ使用量低減を実現。ランニングコスト低減に貢献します。
  • 非接触ハンド等、ワークに沿った搬送に対応可能（オプション）。

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