ATRM-4000
特 長
- 12インチ（300mm）径のウェーハに対応した保護テープ剥離装置です。
- ウェーハカセット部とメンテナンス部に仕切りを設け、メンテナンス部をクリーンルーム外に設置する事により、高クリーン度の必要な室内スペースを小さくすることができます。
- ウェーハを特殊エレメントにより確実にホールドし、ウェーハにストレスを与えることなく保護テープを剥離します。
- 対話方式による簡単操作。
- FOUPカセット対応、AGV・OHT通信機能対応、UV照射ユニット内蔵（オプション）。
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