製品情報

サファイヤ基板用マウンター　ATM-8100シリーズ

特 長

  • 真空下で基板とテープを貼り合わせるため、気泡の混入のない貼り付けが可能です。 また、差圧による貼り付け方式のため、ウェーハにストレスを与たえません。
  • φ3･4･5･6インチの100μ以下の薄厚基板にも対応します。
  • ウェーハID読み取り/バーコード発行機能にも対応します。（オプション）
  • その他、ご要望に応じたカスタマイズ対応が可能です。

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