SAM-8C
特 長
- ウェーハを真空状態でテープに貼り付けることにより、気泡の発生が無く、ウェーハにダメージも与えない。
- ウェーハパターン面、外周３mm以外保持によるコンタクトレステーブルを採用。（ウェーハ吸着は不要）
- ウェーハマウント位置と、フレームテープ貼付位置を別々に配置することにより、テープの使用量が少なく済み、１枚のウェーハマウントの中に別の１枚のフレームのセッティングが可能な為、作業効率が上がる。
- テープの送り、巻取り、カットは自動で、離ケイ紙巻取りシステムも可能です。（ＵＶテープ使用可能）
- タッチパネルでテーブル高さ調整可能
