製品情報

TEAM-100ARF　

特 長

  • 真空状態でフィルムとウェーハを貼付けることにより、段差に対しても気泡の発生がない貼り付けができます。
  • ドライレジストフィルム化する事により従来のウェットレジスト工程でのレジスト液の無駄を大幅に軽減出来ます
  • ウェーハ内周に設定したフィルムサイズにカットする事で、メッキ電極に対してウェーハ周辺部を露出することが出来ます。

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