製品情報

VTM-200M　

特 長

  • 真空チャンバーの採用により、ウェーハ表面の凹凸形状に対して、テンティング貼り／埋め込み貼り／厚膜貼り／コンフォーマル貼り／ガス封印貼り等の貼付けも可能。
  • 貼り付けローラースピード／ローラーテーブル温度／真空圧貼り付け圧力の条件設定が可能、最適な貼付条件が出せます。

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