当社は、この度Tru-si Technologies，Inc（本社：米国カリフォルニア州）との間でシリコンウェーハの薄型化に対応した技術において協力体制を強化することで基本合意いたしました。
薄型化技術・欠陥除去技術の世界的なリーディングカンパニーであるTru-si社とシリコンウェーハの薄厚化及びウェーハ損傷除去技術においてパートナーシップを組むことで、今後とも需要拡大が見込める分野において、総合的ソリューションを顧客に提供することができるものと思われます。 将来的にはTru-si社の常圧プラズマエッチング及び非接触ハンドリング技術と当社のATMシリーズを組み入れた製品の共同開発プログラムを進めてまいります。
Tru-si Technologies，Inc
| URL | http://www.trusi.com/ |
|---|---|
| 主な事業内容 | 半導体製造装置の開発・製造・販売 |
| 設立 | 1997年 |
| 所在地 |
657 North Pastoria Avenue Sunyvale，CA94085，USA |
| 代表者 | CEO Dr．Sergey Savastiouk |
