製品情報

ATM-8100TK　

特 長

  • 真空下の特殊マウント方式により、ウェーハ裏面の外周リムと研削面との段差にも気泡無くテープを貼り付けます。
  • ウェーハ裏面外周リム部のみを吸着する特殊搬送システムにより、ウェーハ表・裏面の汚染がありません。
  • その他、ご要望に応じたカスタマイズ対応が可能です。
  • DAFにも対応可能。

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