製品情報


半導体機器事業

コンピューターシステムや電子機器の心臓部と言うべき半導体の製造機器の開発を手がけています。より多くの情報をスピーディーに処理できる自動省力化機械を研究して、大切なエネルギーをより効率よく利用できる装置づくりに貢献していきます。

製造工程別紹介

ワークサイズ別紹介


LED対応設備

全自動リフトオフ装置
サファイヤ基板用マウンター
テープ貼り替え装置

全自動パッケージマウンター

TAIKOプロセス対応設備

表面保護テープ剥離装置
ウェーハマウンター

ウェーハ表面保護テープ貼付装置

TEAM-100
ATM-1100G
ATM-1100K

ATM-3000
ATM-3000EF

ウェーハ表面保護テープ剥離装置

ATRM-2300
ATRM-2200G
TEAM-200

ATRM-4000

DAF貼付装置

DM-800B
DM-812
DAM-812M

ウェーハマウンター

ATM-8200
ATM-8100S
SAM-8

ATM-8100X
ATM-12000DR
DTM-812X/W

紫外線照射装置

TUV-1
TUV-M
TUV-12

フイルムレジスト貼付装置

TEAM-100ARF
ATM-1100K
VTM-200M

TEAM-300
ATM-3000EF
VTM-300

パッケージマウンター

ATM-9000
ATM-9500(エコリング対応)

支持基板(H-WSS)プロセス対応機(貼合)

WSM-100
GWS-300M
GWSM-300M

支持基板(H-WSS)プロセス対応機(分離)

WSM-200
GWS-300R
GWSM-300R

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