製品情報

ATM-12100　

特 長

  • 8インチ、12インチウェーハに対応した全自動真空マウンターです。
  • ウェーハマウントをした後、保護テープ剥離を行います。
  • 反りウェーハに対して安定した吸着保持で反転動作ができます。
  • プロトスキャリア対応可能。（オプション)
  • DAFにも対応可能。(オプション)

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