製品情報

半導体機器事業

製造工程別紹介

ワークサイズ別紹介

4,5,6,8インチ 12インチ

4,5,6,8インチ

ウェーハ表面保護テープ貼付装置

TEAM-100
ATM-1100G
ATM-1100K

ウェーハ表面保護テープ剥離装置

ATRM-2300

ウェーハマウンター

ATM-8200A
ATM-8100S
SAM-8
ATM-8100X
SAM-8C
ATM-8100TK

紫外線照射装置

TUV-1
TUV-M

フイルムレジスト貼付装置

TEAM-100ARF
ATM-1100K
VTM-200M

支持基板（H-WSS）プロセス対応機（貼合）

WSM-100

支持基板（H-WSS）プロセス対応機（分離）

WSM-200

12インチ

ウェーハ表面保護テープ貼付装置

ATM-3100
ATM-3000EF

ウェーハ表面保護テープ剥離装置

ATRM-4000

DAF貼付装置

ウェーハマウンター

ATM-12000DR
ATM-12100

紫外線照射装置

TUV-12

フイルムレジスト貼付装置

TEAM-300
ATM-3000EF
VTM-300

支持基板（H-WSS）プロセス対応機（貼合）

GWS-300M
GWSM-300M

支持基板（H-WSS）プロセス対応機（分離）

GWS-300R
GWSM-300R

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