製品情報

TEAM-100　

特 長

  • 薄削りウェーハ用の保護テープ貼付装置です。
  • ウェーハに保護テープをノーテンションで内貼りをします。
  • 真空チャンバー内でウェーハにテープを貼り付けますので、マイクロボイドの混入がありません。
  • 保護テープ以外にも、ドライレジストフィルム等への対応も可能です。（TEAM-100ARF）

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