製品情報

GLAPPING-SiC

特 長

初心者でも操作できる
世界初　省人・省スペース化を
実現した自動化研削機

・最大8インチ（Φ205）まで研削可能

・粗・仕上研削に最適な2軸、3チャックテーブル

・高剛性フレーム構造による高速、高精度研削

・省人・省スペース設計 （ 設置面積　3.07m2 ）

・砥石ホイールの自動交換を実現 （ 特許申請中 ）

・研削後のウエハ測定数値を自動フィードバックし最適化する

・SMIF対応ロードポートオプション対応可

 

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