ATRM-2500UV 表面保護テープ剥離装置(テープレス剥離機)
特 長
- 従来の剥離テープが不要の為、生産コスト削減に寄与できます。
- 剥離テープの交換作業が不要の為、オペレーターの負担が軽減されます。
- 独自技術による針の高さ制御により、針がウェーハに接触する心配はございません。また、ウェーハ厚みによる、針の高さレシピにて制御可能です。
- 100μm薄厚ウェーハ、反りウェーハにも対応可能です。
- 粘着や溶着による剥離方法とは異なり、機械的に対象テープをチャックし剥離を行うのでテープと相性の問題が軽減されます。
- 針での剥離が出来ない場合でも、従来の剥離テープを使用する剥離テープ剥離機構にも対応可能です。※従来の剥離機能は標準対応。
- 非接触ハンド等、ワークに沿った搬送に対応可能です。（オプション）
- TAIKOウェーハ対応可能です。（オプション）
- 内蔵型UV照射機搭載可能です。（オプション）
