製品情報

全自動リフトオフ装置　AMR-2200G

特 長

  • ウェーハ上のレジストと不要部分のメタル膜を、ドライ方式(機械的ピーリング剥離方式)で除去します。
  • ドライ方式で行うことにより、メタルの回収が容易になると共に、薬液処理が不要に成ります。
  • ドライ方式は、ウェット方式に比べ、ランニングコスト低減、次工程短縮に寄与します。

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