1. ダイシングテープの全面均一照射が可能。更に、ウエーハ面内の照度均一化実現します。
2. UVランプが劣化してもタカトリ独自技術により、積算照度を変えずスループットに影響を与えません。
3. 真空停止・エアー停止時のフレーム落下防止対応を行っています。
4. UVランプ交換作業が容易に行えます。
5. 電圧変動によるランプ出力の変動を押さえた制御方法を採用しており、安定した照射を行えます。
6. UV照度の均一化を行い照射面でばらつきが15mW / cm2以内となります。
- ダイシングテープの全面均一照射が可能。更に、ウエーハ面内の照度均一化実現します。
- UVランプが劣化してもタカトリ独自技術により、積算照度を変えずスループットに影響を与えません。
- 真空停止・エアー停止時のフレーム落下防止対応を行っています。
- UVランプ交換作業が容易に行えます。
- 電圧変動によるランプ出力の変動を押さえた制御方法を採用しており、安定した照射を行えます。
- UV照度の均一化を行い照射面でばらつきが15mW / cm2以内となります。
