液晶パネルを組立てる工程ではガラスパネルにTCPを搭載し、更にはドライバー基板の接続と、信号を送るための電極を精度良く位置合せを行った後、ヒート圧着技術により貼り合せ結合する必要があります。 これらは、高分解能カメラによりアライメントマークを自動認識し、精密駆動制御軸により高精度にアライメントを実現しています。
TCP/PWB圧着装置
極薄のウェーハにストレスを与えず搬送を行うため、ウェーハ全面を均等に吸着保持する高速高精度移載と、位置決めを実現しています。
ウェーハマウンター(DTM-812X/W)
7つのコア技術
真空
貼付
剥離
制御・情報処理
クリーン
カッティング
搬送・駆動