特 長
・6インチSiC切断に最適なスペック・高精度切断を実現する高剛性構造
・安定稼働を実現する制御システム
・消耗品の消費低減機構
・稼働状況の監視・管理機能
新素材加工機器事業
SiC・GaN・Ga2O3
サファイア
水晶
LT・LN
GaAs・Gap・InP
磁石(マグネット)
セラミック
研究・開発用
半導体機器事業
繊維加工機器事業
医療機器事業