半導体機器事業
コンピューターシステムや電子機器の中核を担う半導体製造装置の開発に取り組んでいます。AIサーバー、EV、自動運転、産業オートメーションの需要増に伴い、先端ロジック(GPU)や、HBM(High Bandwidth Memory)、PLP(Panel Level Packaging)といった先端Fan-outパッケージ技術に対応した製造機器の研究開発を進めています。
新機種設備
- テープ自動交換機構

- PLP用真空ラミネーター

TAIKO®プロセス対応設備
- ウェーハマウンター

- ATRM-2400TKUV

パッケージマウンター
- ATM-9000

- ATM-9500(エコリング対応)

パワー半導体・Sic関係対応設備
- ATM-1100K

- ATM-8100S

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