製品情報

WSM-200　

特 長

  • 真空チャンバー方式の採用により、極薄ウェーハにストレスを与える事無くマウントします。
  • 特殊ハンドリング技術の採用により、極薄ウェーハにストレスを与える事無く、支持基板と分離します。
  • UV照射ユニット / ヒーターテーブルは、いずれも選択が可能です。

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